정전척 (E CHUCK)

반도체 및 액정 패널 제조 공정에서 진공 척 및 기계식 척 시스템은 일반적으로 기판을 고정하는 데 사용되었습니다. 그러나 흡착, 왜곡의 영향 및 신뢰성 향상에 대한 요구로 인한 한계를 극복하기 위해 오늘날의 반도체 팹 장비에서 정전기력을 활용하는 척이 널리 채택되고 있습니다. 정전척은 고전압으로 바이어스 되어 플래튼과 웨이퍼 사이에 정전기력을 만드는 표면 전극을 갖는 플래튼으로 구성됩니다. Coulomb 및 Johnsen-Rahbek (J-R) 유형인 두 가지 유형의 정전 척을 사용할 수 있습니다. 이들은 유전체 특성과 척력이 생성되는 방식으로 구별됩니다. 쿨롱 척은 기존의 유전체 커패시터와 같은 기능을 합니다. J-R 유형은 크고 유한한 저항을 가지므로 표면이 밀착되고 전압이 인가될 때 전류가 기판과 기판을 통해 흐릅니다. 전하가 기판과 유전체 사이의 경계면에 축적되어 척력을 제공합니다.. . 또한 척의 다양한 전극(또는 극) 구성은 다른 특성을 얻기 위해 사용됩니다. 용도에 따라 단극, 양극(2 극) 및 다극 척(6상 6극 유형 포함)을 사용할 수 있습니다.

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플라즈마 점화

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전자 빔 증발

High voltage power supplies for e-beam evaporation systems, designed for stable deposition, configurable arc intervention, fast slew rates, and multi-channel chamber setups.

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플랫 패널

스펠만 하이볼테이지는 30 년 넘게 평판 디스플레이 제조에 사용되는 이온 빔 주입기용 고전압 전원 공급 장치의 선호 공급 업체였습니다. 스펠만의 SL 시리즈는 1kV-360kV @ 10 와트에서 2000 와트까지 전 세계에 주입기를 갖추고 있습니다. 특수 맞춤화를 통해 장치가 이온 빔 주입에 일반적인 극한 환경에서 작동할 수 있습니다. 스펠만의 ST 시리즈는 1kV-225kV @ 12kW이며 병렬 작동으로 현재와 미래의 주입기에 100kW 이상의 전력을 공급할 수 있습니다.

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스퍼터링

다양한 유형의 플라즈마 스퍼터링 프로세스가 있으며 모두 전원 공급 요구 사항이 다르지만 거의 모든 프로세스에 대한 가장 중요한 요구 사항 중 하나는 아크에 대한 응답입니다. 이것은 안정적이고 일관된 스퍼터링 공정에 중요합니다. 스펠만은 예를 들어, 저장된 에너지를 제한하고 아크 복구 시간을 조정하여 스퍼터링에 사용하기 위해 표준 랙 마운트 및 모듈식 전원 공급 장치를 최적화하는 데 다년간의 경험을 가지고 있습니다. 플라즈마 스퍼터링 전원 공급 장치에 대한 광범위한 요구 사항으로 인해 당사의 애플리케이션 전문가에게 문의하여 고유한 사양을 논의하는 것이 좋습니다.

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정밀 E-빔/I-빔

전자빔과 집속 이온빔 애플리케이션은 매우 다르지만 유사한 성능 특성을 가진 매우 특수한 고전압 전원 공급 장치가 필요합니다. 가장 중요한 요구 사항에는 초저출력 리플, 우수한 레귤레이션, 높은 안정성, 낮은 온도 계수 및 높은 정확도가 포함됩니다. 일반적인 전자 빔 및 FIB 전원 공급 장치는 다양한 접지 기반 및 부동 출력으로 구성되기 때문에 작업이 훨씬 더 어려워집니다. 스펠만은 이러한 까다로운 사양을 충족할 뿐만 아니라 장기간 문제없이 작동할 수 있도록 견고하고 신뢰할 수 있는 제품을 설계하고 제작하는 데 있어 탁월한 경험을 보유하고 있습니다. 아래에 표시된 스펠만 VS100 및 FIB 시리즈는 이러한 고유 한 애플리케이션을 위해 당사가 제공하는 제품을 대표합니다. 맞춤형 요구 사항 또는 솔루션에 대해 논의하려면 언제든지 문의하십시오.

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이온 주입

스펠만 하이볼테이지는 30 년 넘게 이온 빔 주입을 위한 고전압 전원 공급 장치의 선호 공급 업체였습니다. 스펠만의 SL 시리즈는 1kV-360kV @ 10 와트에서 2000 와트까지 전 세계의 주입기를 갖추고 있습니다. 특수 맞춤화를 통해 장치가 이온 빔 주입에 일반적인 극한 환경에서 작동할 수 있습니다. 스펠만의 ST 시리즈는 1kV-225kV @ 12kW이며 병렬 작동으로 현재와 미래의 주입기에 100kW 이상의 전력을 공급할 수 있습니다.  .

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박막 증착

다양한 박막 증착 기술이 있으며 그 중 대부분은 고전압 DC 전력을 필요로 합니다. 두 가지 매우 일반적인 박막 공정은 스퍼터링과 전자 빔 증발 (전자 빔 증발)입니다. 스펠만은 두 가지 기술에 대해 범용 및 애플리케이션 별 전원 공급 장치를 모두 제공합니다. 스펠만의 EVA 시리즈는 전자 빔 증발 시스템에 이상적인 선택입니다. 효율적이고 견고한 고체 상태 회로 토폴로지를 사용하여 설계된 이 공급 장치는 아크에 대한 내성이 높으며 다양한 공정 및 증착 조건에 최적화할 수 있는 사용자 구성 가능한 아크 관리 설정을 제공하여 일관되고 결함 없는 코팅을 유지하는 데 도움이 됩니다. EVA 시리즈 전원 공급 장치는 통합 필라멘트 공급 장치 및 다중 출력을 포함하여 다양한 구성으로 제공되므로 탁월한 경제성과 유연성을 제공합니다. 전자 빔 증발 전원 공급 장치와 마찬가지로 안정적이고 일관된 플라즈마 스퍼터링 공정을 위해서는 아크에 대한 내성과 반응이 중요합니다. 예를 들어, 저장된 에너지를 제한하고 아크 복구 시간을 조정하여 스퍼터링에 사용하도록 당사의 표준 랙 마운트 및 모듈 식 공급 장치를 최적화할 수 있습니다. 플라즈마 스퍼터링 전원 공급 장치에 대한 광범위한 요구 사항으로 인해 당사의 애플리케이션 전문가에게 문의하여 고유한 사양을 논의하는 것이 좋습니다.

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주사전자현미경(SEM)

Spellman’s extensive knowledge in this application has enabled us to develop a range of technology platforms that can be customized to meet demanding customer Electron Beam requirements. Spellman’s EBM range has solutions that will drive most emitters, including thermionic emitters such as Tungsten and LaB6, and Field Emission types such as Cold Cathode and Schottky. All products are provided with the integral outputs to provide the acceleration voltage and drive the emitter, and many also include the HV outputs to drive the many detectors deployed on the Microscopes. With Spellman’s exceptional performance built-in, including low ripple and low micro-discharge, and sub-ppm level stability, the customer is guaranteed the ultimate image quality and resolution, from a repeatable and reliable source... Spellman. Download our short form Ion-Beam/Electron-Beam Brochure, click here.

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초점 이온 빔 (FIB)

스펠만은 분해능 달성에 필요한 성능으로 완성 빔 칼럼을 구동하기 위해 통합된 고전압 공급 장치가 포함된 FIB 전원장치를 개발했습니다. FIB 제품군에는 높은 안정성의 가속기 전압이 부동 출력과 통합되어 소형 19인치 랙 솔루션에서 플라즈마 및 기타 많은 소스 재료와 함께 플라즈마 및 기타 소스 부하를 구동합니다. 추가로 렌즈 전원을 사용할 수 있으며, 칼럼 포커스에 필요한 고성능 고정 또는 가역성 극성 고전압 렌즈를 제공합니다.

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물리 기상 증착용 고전압 전원공급장치 | Spellman High Voltage

물리 기상 증착용 고전압 전원공급장치로, 안정적인 전력, 구성 가능한 아크 관리, 신뢰성 있는 박막 코팅 성능이 필요한 전자빔 증착 및 스퍼터링 공정을 지원합니다.

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고전압 시험

고전압 테스트용 고전압 전원공급장치로, PCB 장착 모듈부터 랙 장착 시스템까지 낮은 리플, 높은 안정성, 아크 보호, 반도체 및 OEM 테스트용 극성 전환 옵션을 제공합니다.

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