스퍼터링
다양한 유형의 플라즈마 스퍼터링 프로세스가 있으며 모두 전원 공급 요구 사항이 다르지만 거의 모든 프로세스에 대한 가장 중요한 요구 사항 중 하나는 아크에 대한 응답입니다. 이것은 안정적이고 일관된 스퍼터링 공정에 중요합니다. 스펠만은 예를 들어, 저장된 에너지를 제한하고 아크 복구 시간을 조정하여 스퍼터링에 사용하기 위해 표준 랙 마운트 및 모듈식 전원 공급 장치를 최적화하는 데 다년간의 경험을 가지고 있습니다. 플라즈마 스퍼터링 전원 공급 장치에 대한 광범위한 요구 사항으로 인해 당사의 애플리케이션 전문가에게 문의하여 고유한 사양을 논의하는 것이 좋습니다.
- Output Voltages from 5kV to 10kV
- Output Power 3kW, 6kW and 12kW
- Designed for E Beam Coating Applications
- Fast, User Configurable Dynamic Arc Intervention
- Optional Filament Gun Supply (up to 3 channels)
- Models from 1kV to 225kV
- 12kW in Single 6U (10.5”) Chassis
- Parallel Units for >100kWChassis
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- Output Voltages from 1kV to 70kV
- Output Power 4 kW
- Single 3U (5.25”) Chassis
- Remote Analog and Remote Ethernet Interface
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- Output Voltages from 1kV to 150kV
- Output Power 6kW
- Single 6U (10.5”) Chassis
- Remote Analog and Remote Ethernet Interface
- Arc and Short Circuit Protected
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
