Физическое осаждение паров
Физическое осаждение из газовой фазы (PVD — physical vapor deposition) — это термин, который охватывает различные методы осаждения тонких пленок, многие из которых требуют высокого напряжения постоянного тока. Двумя довольно распространенными PVD-процессами являются электронно-лучевое напыление и металлизация напылением. Компания Spellman предлагает источники питания как специального назначения, так и для конкретных применений в обеих технологиях.
an являются идеальным выбором для систем электронно-лучевого напыления. Разработанные с использованием эффективных и надежных топологий твердотельных схем, эти источники питания обладают высокой устойчивостью к дуговым разрядам и предлагают настраиваемые пользователем параметры управления разрядом, которые могут быть оптимизированы для различных процессов и условий осаждения, что помогает поддерживать стабильность и отсутствие дефектов при нанесении покрытий. Источники питания серии EVA доступны в различных конфигурациях, включая встроенные источники питания нити накала и несколько выходов, что обеспечивает непревзойденную экономичность и гибкость.
Как и в источниках питания для электронно-лучевого напыления, способность реагировать на образование дугового разряда важна для стабильных и продолжительных процессов плазменной металлизации напылением. Многие из наших стандартных стоечных и модульных источников питания могут быть оптимизированы для использования в процессах металлизации напылением, например, путем ограничения накопленной энергии и настройки времени восстановления после дугового разряда. Поскольку к источникам питания для плазменной металлизации напылением предъявляется широкий спектр требований, мы рекомендуем вам связаться с нашими специалистами для обсуждения ваших уникальных характеристик.
- Специально разработан для электроннолучевого напыления
- Уровни мощности 3 кВт, 6 кВт и 12 кВт
- Дистанционный аналоговый интерфейс и интерфейс Ethernet/RS-232
- Защита от дуги и короткого замыкания, быстрое восстановление после дугового разряда
- Настраиваемая пользователем динамическая защита от дуги
- Поставка под заказ электронной пушки с катодом прямого накала (до трех каналов)
- Возможность изготовления в соответствии с требованиями производителя оригинального оборудования
- Models from 1kV to 225kV
- 12kW in Single 6U (10.5”) Chassis
- Parallel Units for >100kWChassis
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- Модели от 1кВ до 70кВ
- Выходная мощность 3 кВт
- Одиночное шасси 3U (5,25 дюйма)
- Удаленный аналоговый и удаленный интерфейс Ethernet
- Настраиваемые пользователем настройки через интерфейс Ethernet
- 6 кВт в одном шасси с форм-фактором 6U (высота 26,67 см)
- Модели от 1 до 150 кВ
- Дистанционный аналоговый интерфейс и дистанционный интерфейс Ethernet
- Защита от дуги и короткого замыкания
- Настройка функций через интерфейс Ethernet
- Возможность изготовления в соответствии с требованиями производителя оригинального оборудования
