Электронно-лучевое напыление
Высоковольтные источники питания серии EVA компании Spellman специально разработаны для электронно-лучевого напыления. Низкое накопление энергии и высокая скорость выхода на режим поддерживают выходное напряжение на оптимальном уровне для стабильной интенсивности осаждения. Конфигурируемые заказчиком параметры управления образованием дугового разряда позволяют настраивать устройство для специального назначения. Один источник питания EVA может управлять тремя каналами в одном корпусе благодаря дополнительному встроенному источнику питания нити накала. С помощью одного высоковольтного источника питания можно настроить до трех источников питания накала, что обеспечивает непревзойденную экономичность и гибкость.
- Специально разработан для электроннолучевого напыления
- Уровни мощности 3 кВт, 6 кВт и 12 кВт
- Дистанционный аналоговый интерфейс и интерфейс Ethernet/RS-232
- Защита от дуги и короткого замыкания, быстрое восстановление после дугового разряда
- Настраиваемая пользователем динамическая защита от дуги
- Поставка под заказ электронной пушки с катодом прямого накала (до трех каналов)
- Возможность изготовления в соответствии с требованиями производителя оригинального оборудования
