EBM-TEGR

  • Питание триодов для термоэлектронно-эмиссионного РЭМ
  • Высокая точность, низкий уровень шума, сверхстабильность
  • Защита от перегрузки по току/напряжению, дуги и короткого замыкания
  • Цифровой интерфейс RS-232 или RS-485.
  • Бесплатный графический интерфейс для тестирования и разработки
  • Доступна настройка OEM
  • Соответствие CE, UKCA и RoHS

*Примечание: Все спецификации могут быть изменены без предварительного уведомления. Пожалуйста, ознакомьтесь с английской версией PDF этой спецификации для получения последней актуальной информации об оборудовании.

2 Year Extended Warranty RoHs Compliant logoCE MarkingUK-CA

ВСТРОЕННЫЙ ТРИОД ДЛЯ ТЕРМОЭМИССИИ СЭМ

EBM-TEGR — это интегрированное решение, обеспечивающее высокое напряжение, необходимое для термоэмиссионного сканирующего электронного микроскопа (SEM), в 19-дюймовом шасси, монтируемом в стойку.

Запатентованная технология компоновки и герметизации Spellman обеспечивает значительное улучшение размера, стоимости и производительности по сравнению с другими предложениями блоков питания SEM. Это, а также источники питания плавающей нити накала и сетки, подключенные к ускорителю, управляют пучком.

Этот блок обеспечивает регулируемое, малошумное, сверхстабильное питание ускорителя, программируемое до -30 кВ при 400 мкА. Это, а также источники питания плавающей нити накала и сетки, подключенные к ускорителю, управляют пучком. Устройство также включает в себя высоковольтные выходы для управления детектором, включая заземленные выходы ФЭУ, сцинтиллятора и коллектора.

Пользовательский контроль этой интегрированной системы электропитания EBM-TEGR осуществляется через интерфейс RS-232 или опциональный интерфейс RS-485. Предусмотрено пять блокировок. Устройство имеет маркировку CE и UKCA.

Технические характеристики

(Ref. 128031-001 REV. C)

SPECIFICATIONS

Input Voltage:

100 to 264 Vac @2A max. 47 to 63Hz 

Temperature:

Operating: 10°C to +45°C
Storage: -10°C to +70°C

Humidity:

0 to 90% RH, non-condensing

Interlocks: 

Five functional interlocks are provided on a 9 pin D connector (see pinout details). 
The EHT, Collector, Scintillator and PMT interlocks disable the corresponding outputs when open (the other outputs can be powered up). 
The Vacuum interlock disables the gun supplies (EHT and heater) when open.

Front Panel Indicators: 

POWER ON: Green LED 
INTERLOCKS: Yellow LED indicates that all the interlocks are closed and the unit is able to generate high voltage. 
HV ON: Yellow LED indicates that the high voltage EHT (Accelerator) Output is energized. 
RS-232/RS-485: Yellow LED indicates when communications are taking place on the RS-232/RS-485 bus.
FAULT: Red LED indicates that an Error condition has occurred.

Input Power Connector:

I.E.C. 320 Receptacle with integral fuse

High Voltage Output Connectors:

Grid and Filament: Claymount CA1 type 03 (see drawing)
A mating cable assembly is available (see drawing and How To Order table)
Collector and PMT: BNC HT-MHV Receptacle Radiall R316553000
Scintillator: SHV Receptacle Radiall R317580000 

Protection:

All outputs are protected from arcs in the load and continuous short circuit to ground and between each other.

- If the Beam Energy has more than 4 arcs in a 10 minutes period, unit will disable all outputs and sets all programs to zero.
- In case of an over temperature condition for greater than 100° C for ten seconds all outputs will be disabled. 
- Over voltage, over current and internal communication issues are also monitored and trigger fault conditions. 
- The unit reports fault or trip conditions through status flags. After a Trip occurs, the unit can be reset through software (digital interface) or power cycle.

Dimensions: 

See drawing

Weight:

39.7 lbs. (18kg)

Regulatory Approvals:

Compliant to EEC Low Voltage Directive. UK Conformity Assessed. RoHS Compliant.

OUTPUT SPECIFICATIONS

OUTPUT  Accelerator (EHT) Filament Grid PMT Scintillator Collector 
Output Voltage  -100V to -30kV, referenced ground 5V max, 15W max center tapped to the Accelerator -35V to -1650V referenced to Accelerator 0V to -1300V referenced to ground +50V to +11kV referenced to ground  -400V to +400V referenced to ground
Output current - max  400μA  5A 400μA  1mA (current trip level: 1.2mA) 200μA 4μA
Accuracy  ±2% or ±30V (whichever is greater) ±5% or ±100mA (whichever is greater) N/A ±2% or ±1V (whichever is greater) <1% or ±10V (whichever is greater)  ±2% or ±2V (whichever is greater)
Load Regulation   <10ppm for 30μA to 400μA <5mA for a 0.4Ω to 1Ω change at 3A N/A <±100ppm for 0 to 1mA <100ppm for 10μA to 200μA <5% for 0 to 5 mA 
Line Regulation at full load  ± 10% line change   <10ppm <5mA N/A  <100ppm  <100ppm <10mV 
Ripple p-p at max. output   <100mV 1mA at 50Hz 30mV at 100kHz at 3A,1Ω  N/A <200mV <100mV <25mV
Temperature Coefficient  <50 ppm/°C  <300 ppm/°C N/A  <100 ppm/°C <250 ppm/°C <50 ppm/°C 
Stability (1h warm up) <10 ppm/15min
<25 ppm/1h
<2mA/1h <0.4μA/15min  200 ppm/1h <1%/1h <50mV/15min 

 

INTERLOCKS CONNECTOR 9 PIN D SUB-FEMALE

Pin Signal I/O  Signal Parameters
1 0V - Ground
2 24V  24V Output from unit (connected to pin 6 internally)
3 Collector  I   Input for collector interlock 
Scintillator  I   Input for Scintillator interlock 
5 Vacuum  I   Input for vacuum interlock (connected to pin 8 internally)  
6 24V  O   24V output from unit (connected to pin 2 internally 
EHT  I   Input for EHT interlock 
Vacuum  I   Input for vacuum interlock (connected to pin 5 internally) 
PMT  I   Input for PMT interlock 

DIGITAL COMMUNICATIONS CONNECTOR 9 PIN D SUB-MALE

Pin RS-232 RS-485 Description
1 - - N/C
2 RS-232 RxD  - RS-232 data receive
3 RS-232 TxD  Z RS-232 data transmit or RS-485 inverting
- - N/C
5 GND  GND   Ground 
6 -   N/C
Y RS-485 non-inverting
- N/C
-   N/C

  

   HOW TO ORDER

Description Part Number
EBM-TEGR EBM30N12/TEGR
EBM-TEGR with RS-485 option EBM30N12/TEGR/DCC4
HV Output cable - 4 meters  HVC75/3SO/1382

 

 

Таблицы и диаграммы

DIMENSIONS: in.[mm]

Side View

 EBM-TEGR Side View

Top View

 EBM-TEGR Top View

Front View

EBM-TEGR Front View  

EBM-TEGR HV Output Connector

EBM-TEGR HV Output Cable