Компания Spellman High Voltage Electronics Corporation, ведущий мировой независимый производитель специализированных высоковольтных преобразователей энергии, объявила о своем участии в выставке SemiCon West 2018, которая будет проходить с 10 по 12 июля в Сан-Франциско, шт. Калифорния. Выставочный стенд компании Spellman будет иметь номер 6544..

В этом году компания Spellman сосредоточит основное внимание на высоковольтных источниках питания для электростатических держателей (E-chuck), применяемых в полупроводниковой отрасли, а также на изделиях серии EVA, специально спроектированных для применения в сложных установках для электронно-лучевого нанесения покрытий. Продукция компании Spellman известна во всем мире благодаря высокой производительности, отменному качеству и применению наилучших конструктивных решений. Присутствующие на выставке специалисты компании Spellman смогут подробно ответить на вопросы технического характера о высоковольтных источниках питания, а также предоставят информацию по ценам на конкретные модели.

Высоковольтный источник питания для электростатического держателя

Прежде всего, выпускаемые компанией Spellman источники питания серии ESC для электростатических держателей обеспечивают стабильное и точное напряжение, необходимое для изготовления полупроводниковых пластин. Эти специализированные и хорошо регулируемые источники питания с высокой точностью обеспечивают сохранность пластины в течение всего длительного технологического цикла. Имеются версии с выходом, реверсивным относительно земли, а также блоки с истинно плавающим биполярным выходом с привязкой к плавающей средней точке. Комплексная многофункциональная схема диагностики неисправностей отслеживает работу источника питания и передает данные о состоянии системы в пользовательский интерфейс. Источники питания компании Spellman серии ESC устанавливаются в компактные, легкие корпуса, рассчитанные на установку в системы изготовителя оригинального оборудования и требующие минимальной площади для монтажа.

Высоковольтные источники питания для электронно-лучевого напыления

Спроектированные для применения в сложных установках электронно-лучевого напыления покрытий, источники питания серии EVA, выпускаемые компанией Spellman, имеют полнофункциональную переднюю панель, обеспечивающую локальное управление устройством, а также мощный аналоговый интерфейс, позволяющий осуществлять управление в дистанционном режиме. Имеющиеся цифровые интерфейсы Ethernet и RS-232 облегчают интегрирование блока EVA в вашу систему.

Надежный инвертор на биполярных транзисторах с изолированным затвором, входящий в состав блоков серии EVA, конструктивно устойчив к отказам. Запатентованная выходная высоковольтная секция с низкой емкостью и малым накоплением энергии идеально подходит для динамических нагрузок и аварийных ситуаций, которые присущи установкам для электронно-лучевого нанесения покрытий. Короткое время восстановления после дугового разряда (< 2 мс) позволяет сводить к минимуму прерывания технологического процесса. Пользователь может настраивать множество рабочих параметров в соответствии со своими конкретными требованиями. Кроме того, источники серии EVA способны, по выбору, поддерживать один, два или три канала питания нити накала электронной пушки, обеспечивая непревзойденную гибкость и экономичность.

SEMI представляет собой глобальную отраслевую ассоциацию, которая обслуживает цепочку поставок для производств микро- и наноэлектронной отрасли, включая: полупроводниковые приборы, фотогальванические панели (PV), светодиоды высокой яркости, плоские дисплеи (FPD), микроэлектромеханические системы (MEMS), печатные и гибкие электронные компоненты, а также соответствующие микро- и наноэлектронные устройства. Компания Spellman High Voltage Electronics Corporation является ведущим мировым поставщиком высокопроизводительных стандартных и специализированных высоковольтных преобразователей постоянного тока, а также моноблочных рентгеновских источников Monoblock®, применяемых в медицине, производственном, аналитическом и лабораторном оборудовании, системах безопасности, подводном коммуникационном оборудовании, а также при производстве полупроводниковых приборов. Благодаря своему международному присутствию и стратегическому размещению своих проектных и производственных организаций в Северной Америке, Европе и Азии, Spellman обеспечивает лучшую в своем классе поддержку компаниям-производителям и конечным пользователям по всему миру.

Подробная информация о компании Spellman и широком спектре ее высоковольтного оборудования представлена на сайте: www.spellmanhv.ru

News Home