Haz de iones focalizados (FIB)
Spellman ha desarrollado nuestra gama de FIB (Focused Ion Beam por sus siglas en inglés) con suministros de alto voltaje integrados para operar la columna completa de haz de iones con el desempeño requerido para lograr una resolución en nm. La gama de FIB incorpora voltajes de acelerador de alta estabilidad con las salidas flotantes para operar fuentes de iones de Ga tradicionales, junto con plasma y muchos otros materiales cuando se combina con tecnologías de filtro Wien, en una solución de bastidor de 19 pulgadas. Hay un bastidor de lente adicional disponible que proporciona lentes de alto voltaje de polaridad fija o reversible de alto desempeño requeridos para enfocar la columna.
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- Acelerador y chasis de fuente de iones integrado
- Chasis de lente de referenciado a tierra de alto rendimiento
- Muy baja ondulación y salidas ultra estables
- Protección robusta contra arco y cortocircuitos
- Diseño para minimizar los eventos de microdescarga
- Interfaz digital aislada ópticamente
- Marcado CE y diseñado para cumplir con SEMI S2
